Z6尊龙凯时

      オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダー
      製品説明：
      オンラインチューブPECVDローダー＆アンローダーは、シリコンウエーハをシリコンウエーハ搬送カセットからPECVDグラファイトボートに、またはPECVDグラファイトボートからシリコンウエーハ搬送カセットに自動的にローディングする装置。
      製品メリット：
      1. 速度：6,000枚/時間。
      2. 非常に低い破損率：≤0.03％。
      3. サーフェスアレイおよびラインスキャンAOIカメラと互換性のあるリザーブPLステーション。
      4. ウェハの断片化率を低減するためのソフトタッチ設計コンセプト。
      自動ローディング、低破損率、高生産能力